摘要

本發(fā)明公開了一種快速軟恢復(fù)功率開關(guān)二極管，從下到上依次設(shè)置有陰極N+區(qū)、耐壓層和陽極P+區(qū)，耐壓層由復(fù)合結(jié)構(gòu)成，復(fù)合結(jié)有L型N-柱和L型P-柱構(gòu)成。其中，陽極P+區(qū)為重?fù)诫sSi材料；耐壓層復(fù)合結(jié)結(jié)構(gòu)區(qū)采用新型復(fù)合結(jié)Si材料結(jié)構(gòu)，摻雜濃度較常規(guī)PiN二極管高一個(gè)數(shù)量級(jí)；陰極區(qū)采用N+摻雜結(jié)構(gòu)。本發(fā)明還公開了一種快速軟恢復(fù)功率開關(guān)二極管的制備方法，與常規(guī)PiN二極管的不同之處在于，復(fù)合結(jié)結(jié)構(gòu)中引入了橫向和縱向交替內(nèi)建電場(chǎng)。二極管的反向恢復(fù)峰值電流較常規(guī)的PiN二極管和超結(jié)二極管大大減小，反向恢復(fù)時(shí)間很大程度上縮短了，該新型復(fù)合結(jié)結(jié)構(gòu)的快速軟恢復(fù)功率開關(guān)二極管便能夠更好的適用于高頻電路應(yīng)用中。